机台特点:
包括：明场,暗场,DIC衬度,偏光和落射荧光。多可以在物镜转换器上安装五个物镜。特别适用于在高倍率物镜时对产品观察测量。
型号及产品参数
2010（测量范围：X轴200mm,Y轴100mm）
3020（测量范围：X轴300mm,Y轴200mm）
4030（测量范围：X轴400mm,Y轴300mm）
4030（测量范围：X轴400mm,Y轴300mm）
5040（测量范围：X轴500mm,Y轴400mm）
6060（测量范围：X轴600mm,Y轴600mm）
Z轴测量范围：150mm,
显示器分辨率：0.001um\0.0005um\0.0001um可选配
应用于：半导体封装,焊接贴片,环路高度,FPD面板（LCM）,MEMS,晶片级CPS,硬盘滑行磁头。
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